渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無油的真空系統(tǒng)。然而，目前國內(nèi)渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，國內(nèi)外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。

應用：當今，現(xiàn)代化的半導體行業(yè)中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來，渦輪分子泵，在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現(xiàn)狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

分子泵常見的故障問題：

1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？

2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請問油為什么發(fā)黑？或者多長時間油才會變黑？

3、分子泵在運轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？

4、分子泵軸承為什么會燒毀

5、有防護網(wǎng)保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？

6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？

7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形？

8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？

10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現(xiàn)何后果？

13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是最佳方式？

14、變頻器電源，轉(zhuǎn)速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？

15、分子泵葉片破碎的原因？

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